XY-Piezotisch

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Artikel-Nr.: OSE-SFS-120XY(WA)

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Optik & Optomechanik Team
Tel.: +49 8153 405-11

Beschreibung

  • Verfahrweg in mm: 100µm±15%
  • Tischgröße in mm: 120x120
  • Aktuator: Piezo aktuator
  • Gewicht in kg: 1.2
  • Theoretische Auflösung in mm (offene Schleife): 1
  • Auflösung in mm (geschlossene Schleife): 10
  • Linearität in %: -
  • Rechtwinkligkeit in µm (Horizontal) : 0.1 oder weniger
  • Wiederholgenauigkeit in µm: 0.1 oder weniger
  • Maximale Nutzlast in N: 19.6
  • Micro-Abstandssensor: Digitaler Sensor
  • Kompatible Kabel: OSE-FINE-CA-3: For piezo OSE-DS1-CA-3: For digital sensor