Dünnschicht Messsystem
Artikel-Nr.: STE-ThinFilm
Die Analyse und Messung dünner Schichten mit Hilfe eines Spektrometers.
Artikel-Nr.: STE-ThinFilm
Die Analyse und Messung dünner Schichten mit Hilfe eines Spektrometers.
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Beschreibung
Messsystem zur Bestimmung Dünner Schichten
Die Analyse und Messung dünner Schichten erfolgt meist mit Hilfe eines Spektrometers. Spektrometer, ein Faserbündel für Reflexionsmessungen und Lichtquelle sind die notwendigen Komponenten für einen geeigneten Messaufbau. Wird die Oberfläche mit Licht bestrahlt, zeigt sich je nach Oberfläche ein charakteristisches Interferenzmuster, das nun mit Hilfe der Software ausgewertet werden kann. Durch die unterschiedlichen erhältlichen Spektrometer, Fasern, Probenhaltern und Lichtquellen, kann auch Ihre Messaufgabe optimal gelöst werden.
Die Dicke und die optischen Konstanten (n und k) können mit Hilfe der Reflexions- und/oder Transmissions-Spektroskopie schnell und leicht bestimmt werden. Die Messung und die Analyse der Daten erfolgt innerhalb weniger Sekunden. USB-Anschluss und eine benutzerfreundliche Software ermöglichen einfache und zügige Messungen.
Die spezielle Software verfügt über eine äußerst umfangreiche Materialbibliothek und ermöglicht so die Bestimmung der unterschiedlichsten Schichtstrukturen wie: Multilayer, Dick- und Dünnschichten und Rauhschichten. Neue Materialien können nach der Messung einfach zu der Bibliothek hinzugefügt werden, oder als .txt Datei eingefügt werden.
Der Messprozess besteht hierbei immer aus zwei Schritten. Der Datenaufnahme und der Datenauswertung. Die Software verbindet diese beiden Punkte und macht sie transparent für den Nutzer. Die gewonnen Daten können entweder sofort ausgewertet werden oder zur späteren Auswertung abgespeichert werden.
Der Benutzer entwirft dabei ein optisches Modell der Schichtstruktur und bestimmt mit der Datenanalyse die physikalischen Eigenschaften. Das Ergebnis ist der bestmögliche Fit der gemessenen und der modellierten Daten. Die Software verfügt über vielfältige Optionen zur schnellen und einfachen Analyse komplexester Schichten wie: periodische Strukturen, mehrschichtige Strukturen, sehr dicke Schichten, Schichten auf dünnen Substraten.
Zur Bestimmung dünner Schichten, kann je nach Applikation und Anforderung ein Messsystem aus folgender Liste ausgewählt werden.
System |
Wellenlängenbereich (nm) |
Auflösung (nm) |
Messbereich |
Lampentyp |
STE-TF-VIS | 400-1000 | <2 | 150A-20um | Halogen |
STE-TF-C-UVIS | 190-850 | <2 | 50A-20um | Deuterium |
STE-TF-C-UVIS-SR | 220-1100 | <2.5 | 50A-20um | Halogen+Deuterium |
STE-TF-NIR | 900-1700 | <5 | 1000A-200um | Halogen |
STE-TF-VIS-NIR | 400-1700 | <2, 5>1000 | 150A-200um | Halogen |
STE-TF-C-UVIS-SRN | 200-1700 | <2, 5>1000 | 50A-200um | Halogen+Deuterium |
Zu diesen Systemen sind Standards mit definierten Schichtdicken erhältlich, 100 nm und 1000 nm. Auf Anfrage erhältlich: 10 nm und 10.000 nm.
Sollte keines dieser Systeme Ihren Anforderungen genügen, unterstützen wir Sie gerne bei der Auswahl eines geeigneten Systems.
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