Dünnschicht Messsystem

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Reference number: STE-ThinFilm

Die Analyse und Messung dünner Schichten mit Hilfe eines Spektrometers.

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Beschreibung

STE-ThinFilm Messystem

Messsystem zur Bestimmung Dünner Schichten

Die Analyse und Messung dünner Schichten erfolgt meist mit Hilfe eines Spektrometers. Spektrometer, ein Faserbündel für Reflexionsmessungen und Lichtquelle sind die notwendigen Komponenten für einen geeigneten Messaufbau. Wird die Oberfläche mit Licht bestrahlt, zeigt sich je nach Oberfläche ein charakteristisches Interferenzmuster, das nun mit Hilfe der Software ausgewertet werden kann. Durch die unterschiedlichen erhältlichen Spektrometer, Fasern, Probenhaltern und Lichtquellen, kann auch Ihre Messaufgabe optimal gelöst werden.
Die Dicke und die optischen Konstanten (n und k) können mit Hilfe der Reflexions- und/oder Transmissions-Spektroskopie schnell und leicht bestimmt werden. Die Messung und die Analyse der Daten erfolgt innerhalb weniger Sekunden. USB-Anschluss und eine benutzerfreundliche Software ermöglichen einfache und zügige Messungen.
Die spezielle Software verfügt über eine äußerst umfangreiche Materialbibliothek und ermöglicht so die Bestimmung der unterschiedlichsten Schichtstrukturen wie: Multilayer, Dick- und Dünnschichten und Rauhschichten. Neue Materialien können nach der Messung einfach zu der Bibliothek hinzugefügt werden, oder als .txt Datei eingefügt werden.
Der Messprozess besteht hierbei immer aus zwei Schritten. Der Datenaufnahme und der Datenauswertung. Die Software verbindet diese beiden Punkte und macht sie transparent für den Nutzer. Die gewonnen Daten können entweder sofort ausgewertet werden oder zur späteren Auswertung abgespeichert werden.
Der Benutzer entwirft dabei ein optisches Modell der Schichtstruktur und bestimmt mit der Datenanalyse die physikalischen Eigenschaften. Das Ergebnis ist der bestmögliche Fit der gemessenen und der modellierten Daten. Die Software verfügt über vielfältige Optionen zur schnellen und einfachen Analyse komplexester Schichten wie: periodische Strukturen, mehrschichtige Strukturen, sehr dicke Schichten, Schichten auf dünnen Substraten.


Zur Bestimmung dünner Schichten, kann je nach Applikation und Anforderung ein Messsystem aus folgender Liste ausgewählt werden.

System

Wellenlängenbereich (nm)

Auflösung (nm)

Messbereich

Lampentyp

STE-TF-VIS 400-1000 <2 150A-20um Halogen
STE-TF-C-UVIS    190-850 <2 50A-20um Deuterium
STE-TF-C-UVIS-SR 220-1100 <2.5 50A-20um Halogen+Deuterium
STE-TF-NIR 900-1700 <5 1000A-200um Halogen
STE-TF-VIS-NIR 400-1700 <2,  5>1000 150A-200um Halogen
STE-TF-C-UVIS-SRN 200-1700 <2,  5>1000 50A-200um Halogen+Deuterium


Zu diesen Systemen sind Standards mit definierten Schichtdicken erhältlich, 100 nm und 1000 nm. Auf Anfrage erhältlich: 10 nm und 10.000 nm.

Sollte keines dieser Systeme Ihren Anforderungen genügen, unterstützen wir Sie gerne bei der Auswahl eines geeigneten Systems.